中文名称：三氟甲烷

中文别名：氟仿;氟里昂-23;HFC-23灭火剂

英文名称：trifluoromethane

英文别名：Carbon trifluoride; fluoroform; freon 23; Halocarbon 23; R-23;

分子式：CHF3

分子量：70.0138

外观与性状：无色无臭气体。

产品用途

在半导体产业中，三氟甲烷用在二氧化硅及氮化硅的等离子蚀刻（plasma etching）中。三氟甲烷也是一种制冷剂，名称为R-23或HFC-23，因为其不含氯，不会造成臭氧层破洞，有时会用来会取代造成臭氧层破洞的三氟氯甲烷（cfc-13）。

三氟甲烷因为其低毒性、不容易反应及高密度，可用作灭火剂使用。此时常使用杜邦的商标名称FE-13代表三氟甲烷。

注意事项

操作注意事项：密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。

储存注意事项：储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与氧化剂、易（可）燃物分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。